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Sistema di stoccaggio automatico verticale
per cassetteper lastrecon controllo costante di temperatura e umidità

Sistema di stoccaggio automatico verticale - HANWHA MACHINERY - per cassette / per lastre / con controllo costante di temperatura e umidità
Sistema di stoccaggio automatico verticale - HANWHA MACHINERY - per cassette / per lastre / con controllo costante di temperatura e umidità
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Caratteristiche

Tipo
verticale
Applicazioni
per cassette, per lastre
Altre caratteristiche
con controllo costante di temperatura e umidità

Descrizione

Questo sistema di stoccaggio automatico è destinato al sistema logistico pulito per semiconduttori, che immagazzina e smista wafer FOUP, FOSB, POD e cassette. Può essere implementato in vari tipi di forme, come il tipo a camera, il tipo a rack e altri che si adattano alle specifiche richieste dai diversi processi di semiconduttori. Spec Pulizia dell'ambiente: Classe1 ~ Classe1000 Velocità: 1,5m/sec Acc/Dec: 2,5 m/sec Vibrazioni: Non superiore a RMS 0,5 G Spurgo: Spurgo PN2 in ogni momento Controllo ambientale: Umidità, temperatura, pressione, concentrazione di ossigeno

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