Essendo il sistema logistico pulito per i semiconduttori, è un sistema di sollevamento e stoccaggio automatico che trasferisce i wafer FOUP&FOSB a ogni piano.
Spec
Corsa di sollevamento: Max 60 m
Velocità di sollevamento: 360m/min
Tempo di caricamento forche: entro 3 secondi
Acc/Dec: 2m/sec²
Vibrazioni: Non superiore a RMS 0,8G
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