Sistema a fascio ionico focalizzato NX5000

La piattaforma FIB-SEM NX5000 "ETHOS" è destinata ad applicazioni avanzate con precisione di posizione nei settori della produzione automatizzata di lamelle TEM ultrafini per TEM/STEM con correzione delle aberrazioni, dell'esame SEM multi segnale ad alta risoluzione di sezioni di campioni in serie e delle applicazioni di fabbricazione. Caratteristiche del prodotto: - FE-SEM ad alta risoluzione con emettitore di campo freddo o Schottky e doppio obiettivo elettrostatico-magnetico: modalità a immersione magnetica per l'imaging ad alta risoluzione, modalità senza campo magnetico per il funzionamento simultaneo del FIB - Colonna FIB Ga+ con corrente ionica fino a 100nA e buone proprietà a basso kV per tagli FIB veloci e superfici lamellari TEM poco dannose - Ampia camera di campionamento con stadio di campionamento da 155x155 mm2 e numerosi punti di accesso per gli accessori opzionali. È possibile una camera di compensazione per campioni di 150 mm di diametro e il trasferimento di gas inerte ("protezione dell'aria") - Sistema di rivelazione con 3 rivelatori in colonna (2x backscatter, 1x SE) e rivelatore SE in camera. Tutti e 4 i segnali possono essere registrati e visualizzati contemporaneamente