Sistema di preparazione di campione automatico IM4000 II

per SEMper fresatura a fascio ionicodi raffreddamento

IM4000 II è un sistema modulare di lucidatura a ioni di argon controllato da computer che può essere equipaggiato come lucidatrice di superfici pure, come lucidatrice di sezioni trasversali o come sistema ibrido, a seconda della funzionalità desiderata. Con un'energia del fascio selezionabile a passi di 100eV da 0,1keV a 6,0keV, è possibile coprire un'ampia gamma di applicazioni, dalle lucidature più fini alle sezioni trasversali più grandi. Nel funzionamento a sezione trasversale, IM4000 II raggiunge una velocità di rimozione massima in Si di 500µm/ora (6keV, sporgenza sul bordo della maschera 100µm, oscillazione dello stadio ±30°). Sono disponibili funzioni come l'avvio automatico/la preselezione del tempo, la lucidatura a intervalli o i processi a due stadi. L'IM4000 II-CTC offre l'opzione di temperature di processo fino a -100°C nel funzionamento in sezione. Caratteristiche del prodotto: - Pistola ionica di tipo Penning singola, robusta e di facile manutenzione, con controllo indipendente della corrente del fascio e della tensione di accelerazione. Consente fasci di ioni intensivi a tutte le tensioni di accelerazione (0-6kV) - La profondità di processo trasversale in Si con 100µm di sporgenza sopra la maschera, oscillazione dello stadio +/-30°, è di 500µm all'ora o più - La lucidatura della superficie può essere eseguita con angoli di inclinazione da 0° a 90°, l'angolo può essere modificato durante il processo - Ampia camera di campionamento con uno stadio multiasse completamente retrattile attaccato alla porta della camera per ospitare i vari moduli applicativi