Un sistema di ispezione superficiale ad alta precisione per substrati e dischi dotato di una sofisticata funzione di classificazione dei difetti mediante irradiazione laser di multi dearing e di un nuovo metodo per i difetti di inclinazione.
- Rilevamento di difetti minimi ad alta sensibilità con il metodo dei difetti.
- Ispezione sullo stesso mandrino utilizzando ottiche multiple.
- Metodo del riflettometro e dello scatterometro.
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