Espandere la compatibilità con i prodotti chimici e contribuire a un tasso di rendimento più elevato nella produzione di semiconduttori
HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. ha sviluppato e iniziato le vendite dell'HD-960LR, un nuovo monitor di ossigeno disciolto per i produttori di semiconduttori e di attrezzature per la produzione di semiconduttori, il 1° luglio 2021.
La recente miniaturizzazione e il miglioramento delle prestazioni dei semiconduttori sta diversificando le sostanze chimiche utilizzate nel processo di produzione dei semiconduttori, ognuna delle quali richiede una gestione adeguata. Questo nuovo monitor dell'ossigeno disciolto controlla continuamente il contenuto di ossigeno disciolto delle sostanze chimiche con grande precisione nel processo di produzione dei semiconduttori. L'aggiunta di un nuovo meccanismo interno del sensore può sopprimere la degradazione dell'elettrolita ed espande anche la compatibilità all'acqua ammoniacale e a specifici solventi organici. Inoltre, l'adozione di questo nuovo meccanismo ha realizzato il ciclo di sostituzione del sensore di prima classe del settore di circa un anno. L'HD-960LR estende la vita del sensore di circa 1,3 volte per l'acqua ultrapura e 70 volte per l'acqua ammoniacale rispetto ai nostri prodotti convenzionali. Un intervallo più lungo tra le sostituzioni dei sensori aiuta ad aumentare l'efficienza operativa.
Il Gruppo HORIBA continuerà a rispondere alle ampie esigenze dei clienti per contribuire a un tasso di rendimento più elevato nella produzione di semiconduttori.
Anche il contaminante a livello nanometrico nel processo di produzione dei semiconduttori ha il potenziale di causare malfunzionamenti dei semiconduttori.
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