Vaporizzatore liquido LE

ad alto rendimentoad alta portata

Un vaporizzatore di liquidi ad alto flusso e ad alta efficienza con canali di flusso ed elementi riscaldanti incorporati in un blocco di alluminio fuso che garantisce il massimo trasferimento di calore e l'eliminazione dei punti freddi e del rischio di condensa. Questo sistema di controllo della vaporizzazione a sorgente liquida può funzionare fino a 300 °C e può vaporizzare fino a 30 g/min di IPA (o equivalente). Caratteristiche Il design innovativo massimizza il tasso di vaporizzazione Il nuovo ugello dell'iniettore garantisce un'iniezione costante di liquido che contribuisce alla stabilità della concentrazione di vapore in uscita Percorso di flusso completamente in acciaio inox, per la massima resistenza alla corrosione e la minima generazione di particolato Compatibile con molti tipi di materiali precursori. Liquido di applicazione - H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Contattare HORIBA se si desidera vaporizzare materiali liquidi non elencati qui. Volume massimo di vaporizzazione (portata di gas) - H2O : 10g/min (12,4 SLM) IPA ： 30g/min (11,1 SLM）) TEOS : 50g/min (5,3 SLM) SiCl4 ： 130g/min (17,1 SLM)