Evaporatore termico LSC

di processoper liquidi

Il sistema di cottura più venduto di HORIBA è stato sviluppato per soddisfare i requisiti delle odierne industrie ad alta tecnologia. Senza la necessità di un gas di trasporto, il sistema è in grado di fornire una vaporizzazione stabile di materiali come TEOS (a una velocità di 600 SCCM) e H2O (a una velocità di 2 SLM). Per facilitare l'accesso, tutti gli interventi di manutenzione del dispositivo possono essere eseguiti dalla parte anteriore dell'unità. Caratteristiche Gassificazione ad alta portata LSC-A100 fornisce una gassificazione stabile di materiali come TEOS 600SCCM e H2O 2SLM Tutte le operazioni di manutenzione del dispositivo possono essere eseguite dalla parte anteriore dell'unità Un PDA opzionale di tipo PocketPC può essere utilizzato per monitorare le condizioni operative dell'LSC e per registrare e analizzare i registri di funzionamento. Portata generata - H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (max.) Pressione di esercizio - Max. 1.33kPa Volume del serbatoio di alimentazione 2.7L Metodo di regolazione del calore - Controllo PID da parte del regolatore di calore Metodo di rilevamento della superficie del liquido - Interruttore galleggiante Regolatore di portata massica interno Valvola di pressione dell'aria Tipo a soffietto Materiali nel collegamento con il liquido e nell'area di contatto con il gas - SUS316L, PFA Temperatura di esercizio - da 20 a 35°C Ingresso esterno - Apertura/chiusura della valvola di pressione dell'aria, segnale di impostazione della portata del regolatore di portata massica (da 0 a 5 V CC/0 a 100% F.S.), segnale di arresto di emergenza, segnale di azzeramento automatico (opzione) Uscita esterna Allarme di temperatura, allarme di livello del liquido H.H., segnale di livello del liquido (H, M, L), segnale READY, segnale di uscita della portata del regolatore di portata massica (da 0 a 5 V CC/0 al 100% F.S.), allarme di arresto della ventola interna del bagno termoregolato, monitoraggio della tensione della valvola (opzione) Alimentazione CA 100 V, monofase 50/60 Hz, 1,5 kVA Altro