Evaporatori di processo HORIBA

... La serie MV-2000 raggiunge una vaporizzazione stabile, anche a basse temperature, utilizzando il nuovo metodo del flusso tornado. Questo metodo è adatto alla vaporizzazione di una vasta gamma di liquidi, anche di fonti difficili come l'"High-k", una fonte ...

... Il sistema di cottura più venduto di HORIBA è stato sviluppato per soddisfare i requisiti delle odierne industrie ad alta tecnologia. Senza la necessità di un gas di trasporto, il sistema è in grado di fornire una vaporizzazione stabile di materiali come ...

... diverse posizioni I modelli più venduti di sistemi di vaporizzazione TEOS Combinazione di SEF o LF e possibilità di controllo digitale Non è necessario un serbatoio di gorgogliamento o un serbatoio di vaporizzazione speciale Gamma di ...

... Metodo di iniezione Le fasi principali della vaporizzazione di una sorgente liquida e della sua immissione nella camera di processo sono le seguenti. 1. La portata della sorgente liquida viene misurata e la quantità di liquido viene reimmessa ...

... Il processo MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) è ampiamente utilizzato nella produzione di LED, dispositivi ottici e altri componenti. I precursori liquidi e solidi vengono inviati alla camera di reazione controllando la ...

... consente di aumentare i tempi di attività, ridurre la manipolazione da parte dell'operatore e il rischio di contaminazione del processo. La Serie LU include una funzione per l'implementazione automatica di una sequenza di spurgo del ...