Evaporatore di gas IR-300 series

termicodi processoad alta velocità

Il processo MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) è ampiamente utilizzato nella produzione di LED, dispositivi ottici e altri componenti. I precursori liquidi e solidi vengono inviati alla camera di reazione controllando la temperatura, la pressione e la portata del gas di trasporto (metodo di gorgogliamento). La serie IR-300 in linea misura e riporta la concentrazione dei precursori in tempo reale, offrendo all'utente i seguenti vantaggi: Ottimizzare il controllo del processo per produrre un maggior numero di dispositivi di alta qualità Migliorare la resa dei dispositivi e ridurre gli scarti Migliorare la riproducibilità Sapere quando è necessario sostituire un gorgogliatore Estendere l'MTTA Ridurre gli interventi non pianificati Ridurre gli scarti di precursori preziosi Monitoraggio in tempo reale La risposta rapida e l'eccellente ripetibilità consentono di monitorare in tempo reale le variazioni della concentrazione dei vapori Funzione curva di calibrazione multipla (opzionale) Consente di misurare la concentrazione di un massimo di 3 sostanze chimiche o intervalli Funzione di visualizzazione multipla La funzione multi-display sulla parte superiore dell'unità IR-300 offre all'utente la possibilità di controllare in loco il monitoraggio della concentrazione e lo stato della linea di alimentazione dei precursori Funzione di comunicazione Connettività tramite DeviceNet™, RS485 e comunicazioni analogiche Design semplice e compatto Con un ingombro frontale di 124 mm, il design compatto e non orientabile dell'unità consente una facile integrazione Un'elevata intensità ottica e una sorgente luminosa di lunga durata, unite a un'elaborazione del segnale ad alta velocità, consentono alla serie IR-300 di ottenere risposte più rapide e ripetibili alle variazioni di concentrazione dei precursori. Queste caratteristiche consentono all'utente di avere una reale comprensione del processo effettivo, grazie alla misurazione in tempo reale della concentrazione in linea.