Sistema di monitoraggio dei gas IR-400 series

L'IR-400 consente di monitorare in tempo reale il punto finale della pulizia della camera durante il processo di deposizione. Ottimizzando il processo di pulizia, l'IR-400 riduce i tempi di pulizia e il consumo di gas. La riduzione del consumo di gas di pulizia porta a una riduzione dei danni alla camera e aumenta la durata di tutti i componenti del sistema. Monitoraggio multigas (SiF4 e CF4 supportati) (IR-422) Alta sensibilità Funzione di riscaldamento della cella di gas fino a 180 dec.C Display multiplo Comunicazione analogica/digitale. Vantaggi del monitoraggio dell'end-point in tempo reale con l'IR-400 Riduzione dei tempi di pulizia della camera Riduzione dell'uso di gas detergenti Processo di pulizia ripetibile e prevedibile Maggiore durata dei componenti della camera Affidabile, ad alte prestazioni Assorbimetria a infrarossi non dispersiva (NDIR) Il metodo di assorbimetria a infrarossi utilizzato dalla Serie IR-300 sfrutta il principio dell'assorbimento da parte delle molecole di gas della luce infrarossa emessa da una sorgente luminosa a infrarossi. L'uscita di un campione che ha assorbito il gas da misurare viene confrontata con un'uscita di riferimento priva di assorbimento e il risultato viene convertito in una concentrazione di gas. L'uso di questo metodo a doppio raggio consente di ottenere risultati di misura stabili e a lungo termine. Il sistema ottico è composto da una sorgente di luce, una cella di gas e rivelatori a doppio raggio. La stabilità del rivelatore a doppio raggio è stata dimostrata per oltre 40 anni.