Sistema di misurazione di proporzione Quantum

ioni/neutriper reattore a plasma

La microbilancia grigliata risolta energia dell'a cristallo di quarzo di Quantum è uno strumento unico per misurare il rapporto degli ioni alle persone neutrali che colpiscono una superficie dentro un reattore del plasma, a volte ha chiamato lo ione frazione neutrale. Questo strumento dell'avanguardia inoltre misura il tasso di deposito, l'energia dello ione, il cambiamento continuo dello ione e la tensione di polarizzazione. Il rapporto fra le persone neutrali e gli ioni che arrivano ad una superficie, sia polarizzato o a terra ora è misurabile da questo sistema approfondito. Il singolo sensore di Quantum misura la frazione neutrale dello ione o la frazione di ionizzazione di cambiamento continuo che arriva ad una superficie dentro un reattore del plasma. Inoltre misura il tasso di deposito, l'energia dello ione, il cambiamento continuo dello ione e la tensione di polarizzazione a tutta la posizione dentro un reattore del plasma. Il singolo sensore di Quantum o la microbilancia grigliata dell'a cristallo di quarzo è ampiamente usata in molti settori attraverso l'industria e la ricerca, quali il deposito del plasma, i rivestimenti, il plasma che farfugliano, PECVD, incisione ed il raggio ionico. Il singolo sensore di Quantum fornisce la frazione di ionizzazione di cambiamento continuo, una misura che è vitale nella maggior parte delle applicazioni del plasma ma finora è stato molto duro da raggiungere. I rapporti di ionizzazione trovano le applicazioni nella ricerca le ricette nuove di conferma, di nuovi processi e dei modelli e possono essere utilizzati nello sviluppo dei nuovi strumenti e dei processi del plasma.