Sonda di Langmuir Plato

a densità plasmatica

La Sonda Plato è una sonda planare Langmuir Probe progettata per lavorare nei plasmi di deposizione quando un film isolante si deposita sulla superficie della sonda. Questa sonda Langmuir tollerante alla deposizione può rimanere all'interno di un reattore al plasma mentre sono in uso gas isolanti aggressivi. La Sonda Plato misura parametri del plasma come la densità del plasma, la densità di corrente ionica e la temperatura dell'elettrone in plasma ad alta velocità di deposizione, come la deposizione di vapore chimico potenziato dal plasma (PEVCD). Per molti anni è stato difficile misurare i parametri del plasma in ambienti ad alta deposizione. Impedans ha sviluppato una tecnologia innovativa che misura i parametri del plasma, anche quando uno spesso strato isolante si deposita sulla superficie della sonda. La Sonda Plato è una sonda planare Langmuir per la deposizione di plasma quando un film isolante si deposita sulla superficie della sonda. La Sonda Plato è la prima sonda Langmuir sul mercato in grado di operare in plasmi con elevati tassi di deposizione. Una caratteristica unica della Sonda Plato è la sua capacità di misurare accuratamente i parametri chiave del plasma attraverso uno strato depositato di diversi micron di spessore. La deposizione di strati isolanti non influisce sulla precisione della misura della sonda. La Sonda Plato è uno strumento unico che permette agli scienziati di misurare la densità del plasma e la temperatura degli elettroni del plasma, incluso il plasma di deposizione. La sonda Plato Probe fornisce la misura dei parametri del plasma in corrente continua, RF, microonde, plasma continuo e pulsato.