Spettrometro Moduli | RF Spectrometer

Moduli | Spettrometro RF Rilevamento non invasivo dei guasti e monitoraggio dello stato di salute della camera Lo spettrometro RF è un rivelatore a radiofrequenza (RF) che controlla direttamente lo stato elettrico di un plasma dall'esterno della camera del plasma. Questo è stato progettato per il rilevamento dei guasti sugli utensili di produzione senza la necessità di un sensore in linea nel percorso RF. È stato dimostrato che è in grado di rilevare perdite d'aria, spostamento di wafer e altri gravi difetti del plasma. Lo spettrometro RF è un rivelatore a radiofrequenza (RF) che controlla direttamente lo stato elettrico di un plasma dall'esterno della camera del plasma. Questo è stato progettato per il rilevamento dei guasti sugli utensili di produzione senza la necessità di un sensore in linea nel percorso RF. È stato dimostrato che è in grado di rilevare perdite d'aria, spostamento di wafer e altri gravi difetti del plasma.