Piastra di posizionamento XY XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUTrotativaa servomotore lineareper manipolazione di wafer
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Caratteristiche
- Orientazione
- XY, rotativo
- Tipo
- a servomotore lineare
- Altre caratteristiche
- per manipolazione di wafer
- Corsa
10 mm
(0,394 in)- Velocità
200 mm/s
Descrizione
Stadi XY-Rotary con motori lineari e motori a coppia diretta progettati con un basso profilo per la movimentazione dei wafer e molte altre applicazioni automatizzate di posizionamento accurato nell'industria dei semiconduttori. L'azionamento lineare con motore lineare XY drive fornisce un posizionamento XY sub-micron e lo stadio rotante a comando diretto assicura prestazioni sub-arcsec
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