Piastra di posizionamento XY XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUT
rotativaa servomotore lineareper manipolazione di wafer

piastra di posizionamento XY
piastra di posizionamento XY
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Caratteristiche

Orientazione
XY, rotativo
Tipo
a servomotore lineare
Altre caratteristiche
per manipolazione di wafer
Corsa

10 mm
(0,394 in)

Velocità

200 mm/s

Descrizione

Stadi XY-Rotary con motori lineari e motori a coppia diretta progettati con un basso profilo per la movimentazione dei wafer e molte altre applicazioni automatizzate di posizionamento accurato nell'industria dei semiconduttori. L'azionamento lineare con motore lineare XY drive fornisce un posizionamento XY sub-micron e lo stadio rotante a comando diretto assicura prestazioni sub-arcsec

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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.