I robot della Serie 1 sono progettati per la movimentazione dei wafer. Il sistema modulare consente di combinare vari corpi base, da 7" a 21" di corsa Z, con un gran numero di moduli braccio diversi, da 10,5" a 28". Con l'opportuna combinazione di assi è possibile movimentare pesi fino a 3 kg.
Caratteristiche:
-Eccellente rigidità strutturale
-Massima affidabilità e precisione
-Disponibili versioni con montaggio dall'alto (TA) o dal basso (BA)
-Progetti personalizzati
-Encoder assoluto o incrementale
-Integrazione perfetta con preallineatori, binari lineari e altre periferiche
-Inclusi hard- e software "standard" o "avanzati
-Compatibile con l'ambiente della camera bianca ISO 1
-Prodotto in Germania
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