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Robot per manipolazione di wafer
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Carico massimo: 5 kg
Raggio d'azione: 250, 350, 400 mm
Ripetibilità: 0,01 mm
... manutenzione migliorate Le coperture del robot YAMAHA SCARA serie YK-XG possono essere rimosse dalla parte anteriore o verso l'alto. La copertura è separata dal cavo, quindi le operazioni di manutenzione sono facili. Sui ...

... 4.000 wafer/h Stoccaggio in scatole mobili e sostituibili Rilevamento di wafer doppi e rotti e rimozione in una scatola Rilevamento di wafer da 6" difettosi e rimozione separata in scatole ...

Carico massimo: 2 kg
Raggio d'azione: 500 mm
Ripetibilità: 0,1 mm
Alimentazione: 220V monofase. Potenza installata: 1,5 KW. Umidità: max 95%. Fino a 200 cicli/minuto. Gradi di libertà: 3+2 (polso + inclinazione).
Sipro srl

Carico massimo: 2 kg
Raggio d'azione: 700 mm
Ripetibilità: 0,1 mm
Alimentazione: 220V monofase. Potenza installata: da 2,1 a 2,7 KW. Umidità: max 95%. Fino a 150 cicli/minuto. Gradi di libertà: 3+1 (polso).
Sipro srl

Carico massimo: 0 kg - 1 kg
Ripetibilità: 0,02 mm
... I robot della Serie 1 sono progettati per la movimentazione dei wafer. Il sistema modulare consente di combinare vari corpi base, da 7" a 21" di corsa Z, con un gran numero di moduli braccio diversi, ...
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