L'illuminazione multipolare della pupilla è necessaria per ottenere la massima risoluzione nei sistemi di proiezione di maschere. Gli elementi ottici diffrattivi (DOE) di Jenoptik producono efficacemente tali distribuzioni con elevata precisione e uniformità sia all'interno che tra i singoli poli.
Per tutti i nostri elementi diffrattivi utilizziamo materiali di alta qualità. Ciò garantisce una lunga durata, anche in caso di irradiazione laser UV intensiva.
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