Un sensore per un controllore di spessore del film di un oscillatore a cristallo che incorpora 6 o 12 cristalli
Caratteristiche
Utilizzato per misurare lo spessore del film e il tasso di generazione del film durante la lavorazione di film sottili.
Quando un cristallo si guasta, il sensore può essere utilizzato così com'è, passando al cristallo successivo.
Poiché l'apertura del rilevatore si trova in una posizione fissa, non è necessario modificare il fattore di attrezzaggio per ogni cambio di cristallo.
Esistono due tipi di teste del sensore: piatte e a 45°. Queste possono essere utilizzate in modo selettivo a seconda della posizione di montaggio.
Adatto per processi di deposizione sotto vuoto o sputtering a lungo termine e ad alto volume.
---