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Servizio di deposizione sottovuoto CVD
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Descrizione
Apparecchiatura di sputtering verticale a grande superficie
・Gamma di formazione del film efficace
300mm×100mm
・Configurazione dell'apparecchiatura
Camera di sputtering verticale montata sul catodo RAM
・Materiale del film
TCO (ITO ecc.) / Metalli (Cu ecc.) / Ossidi metallici (NiO ecc.) / C (DLC) / Altro
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