Sistema di misurazione di temperatura Thermal TRACK™ 5

in tempo realeportatileautonomo

Il sistema di acquisizione dati Thermal TRACK™ 5 supporta le misure di temperatura in situ dei wafer dai prodotti strumentati SensArray® Process Probe™ cablati. Il sistema Thermal TRACK 5 combina l'unità di acquisizione dati wireless ISIS 5 (Intelligent Sensor Interface System) con un assistente digitale personale portatile per la visualizzazione e la registrazione dei dati in tempo reale per la caratterizzazione dei profili di temperatura. Fornendo rappresentazioni grafiche informative della temperatura del wafer durante l'avvio, lo stato stazionario e il raffreddamento, Thermal TRACK 5 offre un metodo rapido ed economico per la gestione della maggior parte dei processi. Questo sistema portatile offre un'elevata accuratezza, precisione e risoluzione sia per le misure transitorie che per quelle allo stato stazionario, fornendo dati critici per gli ingegneri di fabbrica per calibrare e controllare i setpoint di temperatura ed eseguire controlli di manutenzione preventiva predefiniti. Applicazioni Monitoraggio degli strumenti di processo