Sistema di misurazione per bordi di wafer WATOM 200/300mm

otticoa laserautomatizzato

Profilatore automatico dei bordi dei wafer WATOM 200/300 mm Misura del bordo del wafer - precisione millimetrica L'utilizzo di modelli sempre più piccoli nell'industria dei semiconduttori richiede materiali sempre più avanzati e di qualità estremamente elevata. In risposta ai costanti miglioramenti della qualità dei wafer, KoCoS Optical Measurement ha sviluppato WATOM, uno strumento per la misurazione dei bordi dei wafer e dei profili delle tacche che inaugura una nuova era di misurazione estremamente precisa della geometria dei wafer. Il metodo di misurazione brevettato di WATOM LS utilizza un sensore di rilevamento della luce per misurare il profilo del bordo del wafer con precisione millimetrica, compreso il profilo all'interno della tacca. Utilizzando una telecamera CMOS, vengono scattate immagini della linea laser prodotta dal profilo del bordo. Un algoritmo matematico sviluppato da KoCoS viene poi utilizzato per determinare le caratteristiche del profilo del bordo. Il design modulare di WATOM è pronto per essere combinato con diverse soluzioni di automazione per i moderni processi di produzione dei semiconduttori, sia che i singoli wafer siano caricati manualmente sia che sia presente un sistema di movimentazione automatica dei materiali (AMHS).