Sistema di misurazione per bordi di wafer WATOM 150/200mm

con telecameraautomatizzatoprofilometro

Profilatore automatico dei bordi dei wafer WATOM 150/200 mm Misurazione del bordo del wafer - Tecnologia di proiezione affidabile WATOM CCD utilizza la tecnologia di proiezione del profilo come alternativa alla tecnologia LS e rappresenta la soluzione ideale per le esigenze di misurazione del profilo meno impegnative, in particolare quando non è richiesta la misurazione della tacca. Una telecamera CMOS acquisisce l'immagine del profilo del bordo del wafer illuminato da una sorgente luminosa telecentrica. Il design modulare di WATOM è pronto per essere combinato con diverse soluzioni di automazione per i moderni processi di produzione dei semiconduttori, sia che i singoli wafer siano caricati manualmente sia che sia presente un sistema di movimentazione automatica dei materiali (AMHS).