Misuratore di portata termico FF-107 FLEXI-FLOW

massicoper acquaper gas

Caratteristiche principali

• 8 gas preinstallati, 22 gas disponibili tramite Bronkhorst FlowSuite
• Misurazione del flusso e della temperatura
• Design compatto
• Fino a 16 bar(g)
• Connessione Bluetooth e USB-C con software gratuito Bronkhorst FlowSuite
• Risposta rapida grazie alla tecnologia TCS

Gas preinstallati e intervalli
Gas | intervallo max.
N₂, Aria, H₂ | 5 ln/min
O₂ | 4.5 ln/min
Ar, CH₄ | 4 ln/min
He | 7 ln/min
CO₂ | 3.5 ln/min

Capacità multifluido
Con il software gratuito Bronkhorst FlowSuite, puoi aggiungere uno dei 22 gas disponibili o creare miscele sullo strumento. In questo modo, hai uno strumento multifluido per la tua applicazione: C₂H₂, Aria, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
Puoi facilmente collegare lo strumento al tuo telefono tramite Bluetooth e utilizzarlo con l'app. In alternativa, lo strumento può essere collegato a un PC utilizzando i cavi appropriati.

Caratteristiche del FF-107 FLEXI-FLOW 5 ln/min

• Uscita multiparametro: flusso di massa effettivo e temperatura (strumento)
• Utilizzabile per praticamente ogni tipo di gas o miscela di gas
• Connessione semplice e sicura tramite Bluetooth o USB-C
• Funzionalità avanzate di diagnostica
• Alta precisione grazie al database di gas integrato e alla conversione in tempo reale
• Facile da configurare
• MTBF 145 anni
• TCS unico (Through Chip Sensor)
• Risposta rapida <30ms
• Design compatto
• Indicazione di stato Namur NE107

Applicazioni

• Sputtering reattivo
  • Rapido follow-up dei setpoint per il controllo dello spessore e della trasparenza dello strato
  • Ampio intervallo dinamico per flessibilità all'interno dell'applicazione
• Apparecchiature analitiche
  • Analisi degli elementi in tracce, Cromatografia dei gas, Spettroscopia ICP, Spettroscopia OES, Spettrometria di massa
  • Eccellente ripetibilità e stabilità a lungo termine
  • Grado analitico; bassa degassificazione. Controllo rapido del flusso, anche a tassi di flusso molto bassi.
• Cella a combustibile
  • Molto preciso e ripetibile a breve e lungo termine per la misurazione e il controllo del flusso di H₂, Aria, O₂ e CO₂
  • Misurazione e controllo del flusso a risposta rapida per precisione in qualsiasi momento
  • Ampio intervallo dinamico di misurazione e controllo del flusso per precisione su un ampio intervallo di flusso
  • Compatto per applicazioni mobili con spazio limitato

Specifiche tecniche
Sistema di misurazione / controllo
Intervallo di flusso | 0.1...5 ln/min
Precisione | ±1.5% Rd più ±0.5% FS (alle condizioni di calibrazione)
Ripetibilità | < ± 0.2% Rd
Rapporto di riduzione | 1:50
Classificazione della pressione (PN) | 16 bar(g) (232 psi(g))
Classificazione della temperatura | 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
Pressione operativa | 0.8 … 17 bar(a)
Gas preinstallati | Aria, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2; dati di gas integrati per 22 gas unici più qualsiasi miscela di questi gas
Gas di calibrazione standard | N2
Tempo di risposta (sensore) | <30 ms
Coefficiente di temperatura | Sensore di flusso: zero 0.015% FS/ºC; intervallo 0.05% Rd/ºC
Integrità della perdita, verso l'esterno | Tipico < 2 x 10-9 mbar l/s He
Sensibilità all'atteggiamento | Montaggio in qualsiasi posizione, sensibilità all'atteggiamento trascurabile

Parti meccaniche
Materiale (parti bagnate) | alluminio, acciaio inossidabile, nitruro di silicio, epossidico, ossido di alluminio, vetro
Pressione di prova | 25 bar(g)
Connessioni di processo | G1/8”BSSP ISO 1179 cavità
Materiale di tenuta | FKM 51415
Peso | 250 grammi
Protezione dall'ingresso | IP40

Proprietà elettriche
Alimentazione | +24 VDc ± 10%
Consumo massimo di energia | 0.5 Watt
Comunicazione digitale | Modbus-RTU / FLOW-BUS
Connessione elettrica | 9-pin D-sub male

Caratteristiche / Specifiche tecniche

• Modello: FF-107 FLEXI-FLOW 5 ln/min
• Marca: Bronkhorst
• Intervallo di flusso: 0.1...5 ln/min
• Precisione: ±1.5% Rd più ±0.5% FS
• Ripetibilità: < ± 0.2% Rd
• Rapporto di riduzione: 1:50
• Classificazione della pressione: 16 bar(g)
• Classificazione della temperatura: 0 … 50 °C
• Pressione operativa: 0.8 … 17 bar(a)
• Gas preinstallati: Aria, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2
• Dati di gas integrati: 22 gas unici più miscele
• Gas di calibrazione standard: N2
• Tempo di risposta: <30 ms
• Coefficiente di temperatura: Sensore di flusso: zero 0.015% FS/ºC; intervallo 0.05% Rd/ºC
• Integrità della perdita: Tipico < 2 x 10-9 mbar l/s He
• Sensibilità all'atteggiamento: Montaggio in qualsiasi posizione, trascurabile
• Materiale (parti bagnate): alluminio, acciaio inossidabile, nitruro di silicio, epossidico, ossido di alluminio, vetro
• Pressione di prova: 25 bar(g)
• Connessioni di processo: G1/8”BSSP ISO 1179 cavità
• Materiale di tenuta: FKM 51415
• Peso: 250 grammi
• Protezione dall'ingresso: IP40
• Alimentazione: +24 VDc ± 10%
• Consumo massimo di energia: 0.5 Watt
• Comunicazione digitale: Modbus-RTU / FLOW-BUS
• Connessione elettrica: 9-pin D-sub male