per condizioni di alto vuoto fino a 10^(-6) mbar
ingombro di 15 x 15 mm
Stadi di traslazione miniaturizzati ultra piccoli con azionamento inerziale piezoelettrico. Edizione per il vuoto di MS15.
Dati tecnici
Larghezza - 15 mm
Altezza - 7 mm
Profondità - 15 mm
Carico massimo Carico (2 assi)
Mx, My, Mz (slancio) - 4 Ncm
Forze di blocco (Fx, Fy) - 3 N
Forza portante (Fz) - 20 N
Precisione di guida
Angolo di imbardata - 20 secondi d'arco
Angolo di beccheggio - 60 secondi d'arco
Deviazione verticale - 1 um
Deviazione laterale - 2 um
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