Piastre di posizionamento vuoto-compatibile

Corsa: 1 mm - 40 mm
Velocità: 1 mm/s - 200 mm/s
Ripetibilità: 0,3 µm - 5 µm

... Applicazioni ad alta risoluzione e scansione veloce Vantaggi: Posizionamento veloce in UHV, anche in verticale Caratteristiche: Risoluzione eccezionale, molto sottile, con motore interno - Vuoto: tutte ...

Corsa: 1 mm - 100 mm
Velocità: 1 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,4 µm - 5 µm

... Caratteristiche: vite a piombo con lubrificazione a secco o vite a sfera con freni piezoelettrici a liquido per la stabilità in nm - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico - Lubrificazione: ...

Corsa: 1 mm - 300 mm
Velocità: 1 mm/s - 10 mm/s
Ripetibilità: 0,015 µm - 5 µm

... nanometrico Applicazione: scansione Vantaggi: posizionamento nanometrico, anche in verticale Caratteristiche: posizionamento con estrema risoluzione e massima rigidità può essere equipaggiato con 2 (o ...

Corsa: 50 mm
Velocità: 100 m/s
Ripetibilità: 0,2 µm

... 460 mm Offre una precisione di movimento costante e affidabile in uno stadio compatto e robusto Ha una risoluzione di posizionamento ultra-fine e una capacità di carico utile sufficiente Ideale per le applicazioni che ...

Corsa: 26 mm
Velocità: 20 mm/s
Ripetibilità: 40, 200 nm

... dotato di un sensore di posizione S. Per i disegni tecnici e le specifiche dettagliate di altre varianti, come gli stadi compatibili con gli ambienti UHV, gli stadi con una forza di blocco più elevata o altre opzioni ...

Corsa: 31 mm
Velocità: 20 mm/s
Ripetibilità: 40, 200 nm

... dotato di un sensore di posizione S. Per i disegni tecnici e le specifiche dettagliate di altre varianti, come gli stadi compatibili con gli ambienti UHV, gli stadi con una maggiore forza di blocco o altre opzioni di ...

Corsa: 41 mm
Velocità: 20 mm/s
Ripetibilità: 40, 200 nm

... dotato di un sensore di posizione S. Per i disegni tecnici e le specifiche dettagliate di altre varianti, come gli stadi compatibili con gli ambienti UHV, gli stadi con una forza di blocco più elevata o altre opzioni ...

Corsa: 10 mm
Velocità: 1 mm/s

Corsa: 3 mm
Velocità: 1,5 mm/s

Corsa: 8 mm
Velocità: 1,2 mm/s