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Piastra di posizionamento lineare LA92
con motore lineare1 assedi precisione

Piastra di posizionamento lineare - LA92 - Steinmeyer Holding GmbH - con motore lineare / 1 asse / di precisione
Piastra di posizionamento lineare - LA92 - Steinmeyer Holding GmbH - con motore lineare / 1 asse / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
con motore lineare
Numero di assi
1 asse
Altre caratteristiche
di precisione, alluminio, per microscopio, industriale, vuoto-compatibile, automatica, per manipolazione di wafer, a rulli incrociati
Corsa

Min.: 1 mm
(0,039 in)

Max.: 40 mm
(1,575 in)

Velocità

Min.: 1 mm/s

Max.: 200 mm/s

Ripetibilità

Min.: 0,3 µm

Max.: 5 µm

Carico

Min.: 0,9 kg
(1,98 lb)

Max.: 1,9 kg
(4,19 lb)

Descrizione

LA92 Asse lineare UHV ad alta velocità Applicazione: Applicazioni ad alta risoluzione e scansione veloce Vantaggi: Posizionamento veloce in UHV, anche in verticale Caratteristiche: Risoluzione eccezionale, molto sottile, con motore interno - Vuoto: tutte le aree HV / UHV fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico | a basso magnetismo | senza magneti - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura massima di bakeout: 120°C Opzioni: - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Combinabile con un sistema di trasferimento XYZ (ad es. LA90, LA95, LA170) - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Opzionale con controllore di movimento FMC400/450 Dati tecnici - Corsa: 40 mm - Ripetibilità: ± 0,3 µm (unidirezionale) ± 0,4 µm (bidirezionale) - Carico: → 19 N / ↑ 9 N - Velocità max. Velocità: 200 mm/s - Motore: Nanomotion - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi, opzionali in ceramica integrale - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di retroazione: 0.005 µm - 0,1 µm

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