Piastra di posizionamento lineare LA97-MT85

piezoelettrica2 assidi precisione

Verticale di precisioneLA97-MT85 Applicazione: Manipolatore multiuso Vantaggi: per la scansione ad alta risoluzione Caratteristiche: Posizionamento ad altissima risoluzione - Vuoto: tutti i campi di pressione HV / UHV fino a 10-11 - Magnetismo: magnetico - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / secca fino a 10E-11 mbar - Max. Temperatura di cottura: 80°C Opzioni: - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto su misura per l'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera di cottura - In opzione con l'unità di controllo FMC400/450 - Dati tecnici - Campo di corsa: 20 mm - 200 mm - Precisione di ripetizione: ± 0,02 µm (unidirezionale) ± 0,03 µm (bidirezionale) - Carico: → 200 N / ↑ 20 N - Velocità massima: 10 mm/s Velocità: 10 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico - Guida: Cuscinetto a rulli incrociati in acciaio inox, ibrido, ceramica opzionale - Feedback: Sistema di misura lineare - Sistema di misura a risoluzione: 0.001 µm - 0,1 µm