Piastra di posizionamento lineare HT160elettrica1 assea rulli incrociati
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Caratteristiche
- Orientazione
- lineare
- Tipo
- elettrica
- Numero di assi
- 1 asse
- Altre caratteristiche
- di precisione, alluminio, industriale, vuoto-compatibile, per manipolazione di wafer, ad anello aperto, a rulli incrociati
- Corsa
Min.: 1 mm
(0,039 in)Max.: 16 mm
(0,63 in)- Velocità
Min.: 1 mm/s
Max.: 2,2 mm/s
- Ripetibilità
Min.: 1 µm
Max.: 5 µm
- Carico
Min.: 4,5 kg
(9,92 lb)Max.: 5 kg
(11,02 lb)
Descrizione
HT160
Stadio di sollevamento verticale di precisione per carichi elevati
Applicazione: stadio di sollevamento a vuoto
Vantaggi: elevata rigidità e carico
Caratteristiche: cuneo con vite a ricircolo di sfere
- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar
- Lubrificazione liquida fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar
- Disponibile come versione magnetica
- Temperatura di cottura max. Temperatura di cottura: 120°C
Opzioni:
- Scelta del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione
- Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera
- Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta)
- Opzionale con controllore FMC400/450
Dati tecnici:
- Corsa: 16 mm
- Ripetibilità: -
± 1 µm, ± 1,7 µm (unidirezionale)
± 1,7 µm, ± 2 µm (bidirezionale)
- Carico: → 50 N / ↑ 45 N
- Velocità max. Velocità: 2,2 mm/s
- Motore: Motore passo-passo
- Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi
- Feedback: Anello aperto, scala lineare
- Risoluzione di feedback: nessuna o lineare
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