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Piastra di posizionamento lineare HT160
elettrica1 assedi precisione

Piastra di posizionamento lineare - HT160 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
Piastra di posizionamento lineare - HT160 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
elettrica
Numero di assi
1 asse
Altre caratteristiche
di precisione, alluminio, industriale, vuoto-compatibile, per manipolazione di wafer, ad anello aperto, a rulli incrociati
Corsa

Min.: 1 mm
(0,039 in)

Max.: 16 mm
(0,63 in)

Velocità

Min.: 1 mm/s

Max.: 2,2 mm/s

Ripetibilità

Min.: 1 µm

Max.: 5 µm

Carico

Min.: 4,5 kg
(9,92 lb)

Max.: 5 kg
(11,02 lb)

Descrizione

HT160 Stadio di sollevamento verticale di precisione per carichi elevati Applicazione: stadio di sollevamento a vuoto Vantaggi: elevata rigidità e carico Caratteristiche: cuneo con vite a ricircolo di sfere - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Lubrificazione liquida fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar - Disponibile come versione magnetica - Temperatura di cottura max. Temperatura di cottura: 120°C Opzioni: - Scelta del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controllore FMC400/450 Dati tecnici: - Corsa: 16 mm - Ripetibilità: - ± 1 µm, ± 1,7 µm (unidirezionale) ± 1,7 µm, ± 2 µm (bidirezionale) - Carico: → 50 N / ↑ 45 N - Velocità max. Velocità: 2,2 mm/s - Motore: Motore passo-passo - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi - Feedback: Anello aperto, scala lineare - Risoluzione di feedback: nessuna o lineare

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