KDT300
Stabile stadio xy ad alto carico
Applicazione: stadio di trasporto, stadio di scansione per carichi elevati
Vantaggi: - elevata durata nonostante il lubrificante a secco
Caratteristiche: durata elevata nonostante la lubrificazione a secco
- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11
- Liquido di lubrificazione fino a 10E-11
- Apertura: 80 x 80 mm
- Temperatura massima di cottura Temperatura di cottura: 120°C
Opzioni:
- Con e senza sistema di misurazione
- In opzione con controller FMC400/450
- Corsa fino a 80 mm per carichi fino a 10 kg
- A scelta, con trasmissione a vite con piombo o a vite a sfera lubrificata per velocità più elevate
- Combinabile con tavole rotanti (ad es. DT155) per applicazioni rotanti
- Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione
- Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera
- Progettazione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta)
Dati tecnici:
- Corsa: 10 mm, 50 mm, 10 mm
- Ripetibilità:
- ± 2,8 µm, ± 0,7 µm, ± 0,4 µm, ± 2,8 µm (unidirezionale)
± 0,5 µm, ± 4 µm (bidirezionale)
- Carico: → 44 N / ↑ 120 N
- Velocità max. Velocità: 10 mm/s
- Motore: Motore passo-passo
- Cuscinetti: a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi
- Feedback: Loop aperto, scala lineare
- Risoluzione di feedback: 0.1 µm
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