Piastra di posizionamento lineare HT240
elettrica1 assedi precisione

Piastra di posizionamento lineare - HT240 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
Piastra di posizionamento lineare - HT240 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
elettrica
Numero di assi
1 asse
Altre caratteristiche
di precisione, alluminio, vuoto-compatibile, per manipolazione di wafer, ad anello aperto, a rulli incrociati
Corsa

Min.: 1 mm
(0,039 in)

Max.: 25 mm
(0,984 in)

Velocità

Min.: 1 mm/s

Max.: 3,4 mm/s

Ripetibilità

Min.: 0,3 µm

Max.: 5 µm

Carico

Min.: 0,5 kg
(1,1 lb)

Max.: 44 kg
(97 lb)

Descrizione

HT240 Stadio di sollevamento verticale di precisione per carichi elevati Applicazione: Stadio di sollevamento a vuoto Vantaggi: elevata rigidità e carico Caratteristiche: cuneo con mandrino a vite a sfera - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10-11 mbar - Lubrificazione liquida fino a 10-8 / a secco fino a 10-11 mbar - Magnetismo: magnetico - Temperatura di cottura: max. Temperatura di cottura: 120°C Opzione: - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Opzionale con controllore FMC400/450 Dati tecnici - Corsa: - 25 mm - Ripetibilità: - ± 1,7 µm, ± 0,3 µm (unidirezionale) ± 2,7 µm, ± 0,5 µm (bidirezionale) - Carico: → 440N / ↑ 410 N - Velocità max. Velocità: 3,4 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico - Cuscinetti: A rulli incrociati in acciaio inox, ibrido - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di retroazione: 1 µm

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