Piastra di posizionamento lineare HT240elettrica1 assea rulli incrociati
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Caratteristiche
- Orientazione
- lineare
- Tipo
- elettrica
- Numero di assi
- 1 asse
- Altre caratteristiche
- di precisione, alluminio, vuoto-compatibile, per manipolazione di wafer, ad anello aperto, a rulli incrociati
- Corsa
Min.: 1 mm
(0,039 in)Max.: 25 mm
(0,984 in)- Velocità
Min.: 1 mm/s
Max.: 3,4 mm/s
- Ripetibilità
Min.: 0,3 µm
Max.: 5 µm
- Carico
Min.: 0,5 kg
(1,1 lb)Max.: 44 kg
(97 lb)
Descrizione
HT240
Stadio di sollevamento verticale di precisione per carichi elevati
Applicazione: Stadio di sollevamento a vuoto
Vantaggi: elevata rigidità e carico
Caratteristiche: cuneo con mandrino a vite a sfera
- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10-11 mbar
- Lubrificazione liquida fino a 10-8 / a secco fino a 10-11 mbar
- Magnetismo: magnetico
- Temperatura di cottura: max. Temperatura di cottura: 120°C
Opzione:
- Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione
- Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera
- Opzionale con controllore FMC400/450
Dati tecnici
- Corsa: - 25 mm
- Ripetibilità: -
± 1,7 µm, ± 0,3 µm (unidirezionale)
± 2,7 µm, ± 0,5 µm (bidirezionale)
- Carico: → 440N / ↑ 410 N
- Velocità max. Velocità: 3,4 mm/s
- Motore: Motore piezoelettrico
- Cuscinetti: A rulli incrociati in acciaio inox, ibrido
- Feedback: Scala lineare
- Risoluzione di retroazione: 1 µm
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