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Piastra di posizionamento lineare LT300
elettrica1 assedi precisione

Piastra di posizionamento lineare - LT300 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
Piastra di posizionamento lineare - LT300 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
elettrica
Numero di assi
1 asse
Altre caratteristiche
di precisione, alluminio, industriale, vuoto-compatibile, alto carico, per manipolazione di wafer, con vite a sfere, a rulli incrociati, a vite a strisciamento
Corsa

Max.: 100 mm
(3,937 in)

Min.: 1 mm
(0,039 in)

Velocità

Max.: 10 mm/s

Min.: 1 mm/s

Ripetibilità

Max.: 5 µm

Min.: 0,4 µm

Carico

Max.: 12 kg
(26,46 lb)

Min.: 4,4 kg
(9,7 lb)

Descrizione

LT300 Stadio lineare preciso per carichi elevati Applicazione: Stadio di trasporto, stadio di scansione per carichi elevati Vantaggi: elevata durata nonostante il lubrificante a secco Caratteristiche: vite a piombo con lubrificazione a secco o vite a sfera con freni piezoelettrici a liquido per la stabilità in nm - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura massima di bake-out: 120°C Opzioni: - Disponibile con rottura piezoelettrica - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Opzionale con controllore FMC400/450 Dati tecnici - Corsa: 50 mm - 100 mm - Ripetibilità: ± 2.4 µm, ± 0,4 µm (unidirezionale) ± 1,9 µm (bidirezionale) - Carico: → 44 N / ↑ 120 N - Velocità max. Velocità: 10 mm/s - Motore: Motore passo-passo - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di feedback: ± 0,1 µm

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