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Piastra di posizionamento lineare HDT255
elettrica1 assedi precisione

Piastra di posizionamento lineare - HDT255 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
Piastra di posizionamento lineare - HDT255 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
elettrica
Numero di assi
1 asse
Altre caratteristiche
di precisione, alluminio, industriale, vuoto-compatibile, per manipolazione di wafer, ad anello aperto, a rulli incrociati
Corsa

Min.: 1 mm
(0,039 in)

Max.: 16 mm
(0,63 in)

Velocità

Min.: 1 mm/s

Max.: 16,6 mm/s

Ripetibilità

Min.: 0,7 µm

Max.: 5 µm

Carico

Min.: 0,5 kg
(1,1 lb)

Max.: 9,8 kg
(21,61 lb)

Descrizione

HDT255 Tavolo di sollevamento ad alta apertura di carico Applicazione: stadio di sollevamento a vuoto Vantaggi: - elevata rigidità e carico, apertura Caratteristiche: piattaforma a cuneo con apertura - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Liquido di lubrificazione fino a 10E-8 / secco fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico - Temperatura di cottura: max. Temperatura di cottura: 120°C Opzioni: - Con o senza apertura - Diverse corse - A scelta con e senza sistema di misura - Versioni per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - In opzione con controllore FMC400/450 Dati tecnici: - Corsa: 16 mm - Ripetibilità: - ± 2,9 µm, ± 0,7 µm (unidirezionale) ± 4 µm, ± 1 µm (bidirezionale) - Carico: 98 N - Velocità max. Velocità: 16,6 mm/s - Motore: Motore passo-passo - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di retroazione: 0.1 µm

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