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Piastra di posizionamento lineare LA80
elettrica1 assedi precisione

Piastra di posizionamento lineare - LA80 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
Piastra di posizionamento lineare - LA80 - Steinmeyer Holding GmbH - elettrica / 1 asse / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
elettrica
Numero di assi
1 asse
Altre caratteristiche
di precisione, alluminio, industriale, vuoto-compatibile, ad alta velocità, a corsa lunga, per manipolazione di wafer
Corsa

Min.: 1 mm
(0,039 in)

Max.: 500 mm
(19,685 in)

Velocità

Min.: 1 mm/s

Max.: 100 mm/s

Ripetibilità

Min.: 0,3 µm

Max.: 5 µm

Carico

Min.: 0,9 kg
(1,98 lb)

Max.: 4,9 kg
(10,8 lb)

Descrizione

LA80 Asse lineare UHV ad alta velocità Applicazione: stadio di trasporto veloce Vantaggi: elevata durata nonostante il lubrificante a secco Caratteristiche: azionamento a vite a sfere con lubrificazione a secco - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura massima di cottura: 120°C Opzioni: - A scelta con o senza sistema di misura - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Combinabile con un sistema di trasferimento rapido XYZ (ad es. LA90, LA95, LA170) - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controllore di movimento FMC400/450 Dati tecnici - Corsa: 200 mm - 500 mm - Ripetibilità: ± 3µm, ± 0,3µm (unidirezionale) ± 4µm, ± 0,5µm (bidirezionale) - Carico: → 49 N / ↑ 9 N - Velocità max. Velocità: 100 mm/s - Motore: Motore passo-passo - Cuscinetti: Guide a ricircolo di sfere ibride in acciaio inox - Feedback: Anello aperto, scala lineare - Risoluzione di feedback: ± 0,5 µm

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