LA80
Asse lineare UHV ad alta velocità
Applicazione: stadio di trasporto veloce
Vantaggi: elevata durata nonostante il lubrificante a secco
Caratteristiche: azionamento a vite a sfere con lubrificazione a secco
- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnetico
- Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar
- Temperatura massima di cottura: 120°C
Opzioni:
- A scelta con o senza sistema di misura
- Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione
- Combinabile con un sistema di trasferimento rapido XYZ (ad es. LA90, LA95, LA170)
- Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera
- Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta)
- Opzionale con controllore di movimento FMC400/450
Dati tecnici
- Corsa: 200 mm - 500 mm
- Ripetibilità:
± 3µm, ± 0,3µm (unidirezionale)
± 4µm, ± 0,5µm (bidirezionale)
- Carico: → 49 N / ↑ 9 N
- Velocità max. Velocità: 100 mm/s
- Motore: Motore passo-passo
- Cuscinetti: Guide a ricircolo di sfere ibride in acciaio inox
- Feedback: Anello aperto, scala lineare
- Risoluzione di feedback: ± 0,5 µm
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