Piastra di posizionamento lineare MDT85-PMpiezoelettrica1 assedi precisione
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Caratteristiche
- Orientazione
- lineare
- Tipo
- piezoelettrica
- Numero di assi
- 1 asse
- Altre caratteristiche
- di precisione, industriale, per manipolazione di wafer
- Corsa
Min.: 1 mm
(0,039 in)Max.: 10 mm
(0,394 in)- Velocità
Min.: 2,5 mm/s
Max.: 5 mm/s
- Ripetibilità
Min.: 0,2 µm
Max.: 0,3 µm
- Carico
Min.: 1,2 kg
(2,65 lb)Max.: 1,5 kg
(3,31 lb)
Descrizione
MDT85-PM
Assi e stadi lineari per il vuoto e la camera bianca
- Camera bianca: varianti fino alla classe ISO 6 (superiori su richiesta)
- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV
- Fascio di luce: UV / DUV / EUV
- Lubrificazione: liquida fino a 10-8 / secca fino a 10-11 mbar
- Max. Temperatura di cottura massima: 140°C
Opzioni:
- Con o senza apertura (Ø 25 mm)
- Impilabili in un sistema di posizionamento compatto a 3 assi
- Magnetismo: magnetico, a basso magnetismo, senza magnetismo
- Lubrificazione EUV, lubrificazione UHV senza farina / PFAS
- Sviluppo personalizzato con progettazione 3D, prototipi e produzione in serie
Campi di applicazione
Posizionamento in piccole dimensioni nella camera bianca EUV, ad esempio telecamera, microscopio/sensore (AFM, WLI), misure di transilluminazione, posizionamento di microscopi, impostazione di sistemi multiasse XYZ salvaspazio, manipolatori per l'industria e la ricerca, sistemi di posizionamento compatti in camera bianca, allineamento di semiconduttori, ispezione di fasci di luce
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Cataloghi
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Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.