Piastra di posizionamento lineare KDT120

piezoelettrica2 assidi precisione

KDT120-20 Stadio XY ad alta risoluzione Applicazione: stadio XY a vuoto Vantaggi: veloce e ad alta risoluzione Caratteristiche: parametri per l'imbardata e il beccheggio tre volte migliori rispetto alla variante con apertura - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / secca fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico / a basso contenuto magnetico / senza magneti - Temperatura di cottura max. Temperatura di cottura: 120°C Opzioni: - Con e senza apertura - Disponibile in versione magnetica, a basso magnetismo e senza magnetismo - Diverse varianti di motore: Motore Nanomotion o piezoelettrico - Combinabile con sistema di posizionamento XYZ (ad es. MT105) - Combinabile con stadi rotanti (ad es. DT105) per applicazioni rotanti - Opzionale con il controllore FMC400/450 Dati tecnici: - Corsa: 24 mm - Ripetibilità: - ± 0,03 µm (unidirezionale) - ± 0,05 µm (bidirezionale) - Carico: → 5 N / ↑ 45 N - Velocità max. Velocità: - 5 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi, opzionali in ceramica integrale - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di retroazione: 0.005 µm - 0,1µm