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Piastra di posizionamento lineare MT105
piezoelettrica1 assedi precisione

Piastra di posizionamento lineare - MT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelettrica / 1 asse / di precisione
Piastra di posizionamento lineare - MT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelettrica / 1 asse / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
piezoelettrica
Numero di assi
1 asse
Altre caratteristiche
di precisione, alluminio, industriale, in miniatura, vuoto-compatibile, per manipolazione di wafer, a rulli incrociati
Corsa

Min.: 1 mm
(0,039 in)

Max.: 100 mm
(3,937 in)

Velocità

Min.: 1 mm/s

Max.: 100 mm/s

Ripetibilità

Min.: 0,2 µm

Max.: 5 µm

Carico

Min.: 0,4 kg
(0,88 lb)

Max.: 5,5 kg
(12,13 lb)

Descrizione

MT105 Applicazione: microstadio multiuso Vantaggi: per la scansione ad alta risoluzione Caratteristiche: posizionamento ad altissima risoluzione - Vuoto: tutti i campi di pressione HV /UHV fino a 10E-11 mbar - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8mbar / lubrificante a secco fino a 10E-11mbar - Magnetismo: magnetico / a basso contenuto magnetico / senza magneti - Temperatura massima di cottura: 120°C Opzioni: - Disponibile in versione magnetica, a basso contenuto magnetico e senza magnete - Con fino a 2 motori diversi per il movimento di carichi elevati - Combinabile con il sistema di posizionamento XYZ - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controllore FMC400/450 Dati tecnici: - Corsa: 100 mm - Ripetibilità: - ± 0,4 µm (unidirezionale) ± 0,5 µm (bidirezionale) - Carico: → 4 N / ↑ 55 N - Velocità max. Velocità: 100 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico - Cuscinetti: a rulli incrociati - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di retroazione: 0.005 µm - 1 µm

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