Manipolatore elettrico 3LT300

con presa a vuotodi posizionamento3 assi

manipolatori a 3 assi da tre LT300 Applicazione: Sistema di posizionamento a 3 assi HV Vantaggi: estremamente stabile durante il raggiungimento della posizione, doppio secco Caratteristiche: Stabilizzazione con freno piezoelettrico - Vuoto: tutti i campi di pressione HV / UHV fino a 10-11 - Magnetismo: magnetico - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / secca fino a 10E-11 mbar - Max. Temperatura di cottura: 120°C Opzioni: - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto su misura per l'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera di cottura - In opzione con unità di controllo FMC400/450 Dati tecnici - Campo di corsa: 10 mm - 100 mm - Precisione di ripetizione: ± 4 µm (unidirezionale) ± 5 µm (bidirezionale) - Carico: → 200 N / ↑ 20 N - Velocità massima: 10 mm/s Velocità: 10 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico - Guida: Cuscinetto a rulli incrociati, acciaio inox, ibrido - Feedback: Sistema di misura lineare, anello aperto - Sistema di misura a risoluzione: 0.001 µm - 0,1 µm