Piastra di posizionamento lineare LA97

piezoelettrica1 assedi precisione

LA97 Stadio lineare nanometrico Applicazione: scansione Vantaggi: posizionamento nanometrico, anche in verticale Caratteristiche: posizionamento con estrema risoluzione e massima rigidità può essere equipaggiato con 2 (o 4) motori - Vuoto: tutti i campi di pressione HV / UHV fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico | a basso magnetismo | senza magneti - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / lubrificante a secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura massima di cottura: 120°C Opzioni: - Disponibili versioni magnetiche, a basso magnetismo e senza magnetismo - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controllore FMC400/450 Dati tecnici - Corsa: 100 mm - 300 mm - Ripetibilità: ± 0,015 µm (unidirezionale) ± 0,02 µm (bidirezionale) - Carico: → 98 N / ↑ 58 N - Velocità max. Velocità: 10 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi, opzionali in ceramica integrale - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di feedback: ± 0,1 µm