Piastra di posizionamento lineare LA97piezoelettrica1 assea rulli incrociati
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Caratteristiche
- Orientazione
- lineare
- Tipo
- piezoelettrica
- Numero di assi
- 1 asse
- Altre caratteristiche
- di precisione, alluminio, industriale, vuoto-compatibile, guidata senza sfregamento, per manipolazione di wafer, a rulli incrociati
- Corsa
Max.: 300 mm
(11,811 in)Min.: 1 mm
(0,039 in)- Velocità
Max.: 10 mm/s
Min.: 1 mm/s
- Ripetibilità
Max.: 5 µm
Min.: 0,015 µm
- Carico
Max.: 9,8 kg
(21,61 lb)Min.: 1,9 kg
(4,19 lb)
Descrizione
LA97
Stadio lineare nanometrico
Applicazione: scansione
Vantaggi: posizionamento nanometrico, anche in verticale
Caratteristiche: posizionamento con estrema risoluzione e massima rigidità può essere equipaggiato con 2 (o 4) motori
- Vuoto: tutti i campi di pressione HV / UHV fino a 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnetico | a basso magnetismo | senza magneti
- Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / lubrificante a secco fino a 10E-11 mbar
- Temperatura massima di cottura: 120°C
Opzioni:
- Disponibili versioni magnetiche, a basso magnetismo e senza magnetismo
- Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione
- Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera
- Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta)
- Opzionale con controllore FMC400/450
Dati tecnici
- Corsa: 100 mm - 300 mm
- Ripetibilità:
± 0,015 µm (unidirezionale)
± 0,02 µm (bidirezionale)
- Carico: → 98 N / ↑ 58 N
- Velocità max. Velocità: 10 mm/s
- Motore: Motore piezoelettrico
- Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi, opzionali in ceramica integrale
- Feedback: Scala lineare
- Risoluzione di feedback: ± 0,1 µm
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