Piastra di posizionamento rotativa DT230

a motore1 asseper microscopio

Stadio rotante ad alta risoluzione e apertura stabile UHV, DUV / EUV, camera bianca ISO 6, n x 360°, rep 0,0002°, velocità 180°/s, carico 15 kg - Camera bianca: varianti fino alla classe ISO 6 (superiori su richiesta)) - Fasci di luce: UV, DUV, EUV (raggi X, gamma su richiesta) - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV fino a 10-11 mbar - Lubrificazione: liquida fino a 10-8 mbar / secca fino a 10-11 mbar - Max. Temperatura di cottura: 120°C Opzioni: - Disponibile in versione magnetica, a basso magnetismo e senza magnetismo - Scelta del materiale e lubrificazione adattata all'applicazione - Versione per camera bianca, laboratorio o produzione - Opzionale con controllore FMC400/450 o connessione PLC - Sviluppo specifico per il cliente con progettazione 3D, prototipi, produzione in serie Campi di applicazione Ispezione/microscopia ad alta risoluzione ed estremamente stabile, ad esempio AFM, microscopio elettronico, microscopio ionico, microscopio elettronico a scansione, microscopio a scansione tunneling, misure a luce trasmessa nella tecnologia dei semiconduttori, ispezione di wafer, microscopia di laboratorio, sistemi di imaging, analisi di campioni, strumentazione per linee di fascio, sincrotrone, ricerca sui materiali, analisi di materiali