KT106/170
Palcoscenico XY per campioni
HV / UV / DUV, ISO 4, corsa 136 x 170 mm, Rep 2,9 µm, carico 5 kg, velocità 20 mm/s
- Camera bianca: varianti fino alla classe ISO 4 (superiore su richiesta)
- Vuoto: tutte le gamme HV fino a10-7 mbar
- Lubrificazione: liquido fino a 10-7 mbar
- Max. Temperatura di cottura: 100°C
- Rapporto prezzo/prestazioni ottimizzato
Opzioni:
- Possibilità di combinazione con stadi rotanti (ad es. DT105)
- Versione per camera bianca, laboratorio o produzione
- Sviluppo specifico per il cliente con progettazione 3D, prototipi, produzione in serie
- In opzione con controllore di movimento FMC400/450
Campi di applicazione
Posizionamento per tecnologia dei semiconduttori, micro o nanofabbricazione, spettrometro di massa, spettrometri fotoelettrici, applicazioni di laboratorio, microscopia, ricerca in alto vuoto, preparazione dei campioni, scansione dei campioni, manipolazione dei campioni, ispezione dei wafer, ricerca sui materiali, analisi dei materiali
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