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Piastra di posizionamento lineare MT53
piezoelettrica1 assedi precisione

Piastra di posizionamento lineare - MT53 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelettrica / 1 asse / di precisione
Piastra di posizionamento lineare - MT53 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelettrica / 1 asse / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
piezoelettrica
Numero di assi
1 asse
Altre caratteristiche
di precisione, alluminio, in miniatura, industriale, vuoto-compatibile, per manipolazione di wafer, a rulli incrociati
Corsa

Min.: 1 mm
(0,039 in)

Max.: 10 mm
(0,394 in)

Velocità

Min.: 0,2 mm/s

Max.: 10 mm/s

Ripetibilità

Min.: 0,2 µm

Max.: 5 µm

Carico

Min.: 0,5 kg
(1,1 lb)

Max.: 0,9 kg
(1,98 lb)

Descrizione

MT53 Microstadio ad alta risoluzione Applicazione: microstadio multiuso Vantaggi: per la scansione ad alta risoluzione Caratteristiche: posizionamento ad altissima risoluzione - Vuoto: tutti i campi di pressione HV /UHV fino a 10E-11 mbar - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8mbar / lubrificante a secco fino a 10E-11mbar - Magnetismo: magnetico - Temperatura massima di cottura: 120°C Opzioni: - Scelta del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Opzionale con controllore FMC400/450 Dati tecnici: - Corsa: 10 mm - Ripetibilità: - ± 0,2 µm (unidirezionale) ± 0,3 µm (bidirezionale) - Carico: → 5 N / ↑ 8,8 N - Velocità max. Velocità: 0,2 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico - Cuscinetti: a rulli incrociati - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di feedback: ± 0,1µm

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