Piastra di posizionamento lineare LA95elettrica1 assedi precisione
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Caratteristiche
- Orientazione
- lineare
- Tipo
- elettrica
- Numero di assi
- 1 asse
- Altre caratteristiche
- di precisione, alluminio, vuoto-compatibile, per manipolazione di wafer, ad anello aperto, a rulli incrociati
- Corsa
Min.: 1 mm
(0,039 in)Max.: 185 mm
(7,283 in)- Velocità
Min.: 1 mm/s
Max.: 8,4 mm/s
- Ripetibilità
Min.: 0,4 µm
Max.: 5 µm
- Carico
Min.: 0,1 kg
(0,22 lb)Max.: 4,5 kg
(9,92 lb)
Descrizione
LA95
- Applicazione: fase di trasporto, fase di scansione
- Vantaggi: elevata durata nonostante il lubrificante a secco
- Caratteristiche: vite a piombo con lubrificazione a secco o
vite a sfere con lubrificante liquido
- Vuoto: tutti i campi di pressione HV / UHV fino a 10E-9 mbar
- Magnetismo: magnetico
- Lubrificazione: a liquido fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar
- Temperatura massima di cottura: 120°C
Dati tecnici
- Corsa: 40 mm, 80 mm, 185 mm
- Ripetibilità:
± 1,9 µm, ± 0,4 µm (unidirezionale)
± 2,9 µm, ± 0,5 µm (bidirezionale)
- Carico: → 45 N / ↑ 40 N
- Velocità max. Velocità: 8,4 mm/s
- Motore: Motore passo-passo
- Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi, opzionalmente in ceramica
- Feedback: Scala lineare, anello aperto
- Risoluzione di retroazione: 0.001 µm - 0,1 µm
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