Piastra di posizionamento lineare LA170

con motore lineare1 assea rulli incrociati

LA170 Asse lineare XYZ preciso e ad alto carico Applicazione: Fase di trasporto, fase di scansione per carichi elevati Vantaggi: elevata durata nonostante il lubrificante a secco Caratteristiche: vite a piombo con lubrificazione a secco o vite a sfere con lubrificazione liquida - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura massima di cottura: 120°C Opzioni: - Scelta del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controllore FMC400/450 Dati tecnici - Corsa: 60 mm - 130 mm - Ripetibilità: ± 2,8 µm, ± 0,4 µm (unidirezionale) ± 4 µm, ± 0,5 µm (bidirezionale) - Carico: → 196 N / ↑ 196 N - Velocità max. Velocità: 10 mm/s - Motore: Motore passo-passo - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di feedback: ± 0,1 µm