Piastra di posizionamento lineare 2LA95-LA105elettrica3 assidi precisione
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Caratteristiche
- Orientazione
- lineare
- Tipo
- elettrica
- Numero di assi
- 3 assi
- Altre caratteristiche
- di precisione, industriale, per manipolazione di wafer
- Corsa
Min.: 1 mm
(0,039 in)Max.: 7 mm
(0,276 in)- Velocità
Min.: 1 mm/s
Max.: 3,6 mm/s
- Ripetibilità
Min.: 0,4 µm
Max.: 1 µm
- Carico
Min.: 1,9 kg
(4,19 lb)Max.: 2,9 kg
(6,39 lb)
Descrizione
2LA95-LA105
Sistema XYZ con Piezobremse (UHV)
Manipolatore a tre coordinate con corsa di 5 x 20 x 10 mm e carichi fino a 2 kg. Funzionamento a secco, freno piezoelettrico, vite di comando, motore passo-passo. Include un sistema di misurazione per il feedback della posizione effettiva. È progettato in modo ideale per applicazioni nel campo dell'ottica in condizioni di laboratorio in un intervallo di vuoto fino a 10E-9 mbar.
Dati tecnici:
Sistema standard - LA95 LA95 LA105
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Corsa - [mm] 10 5 20
____________________________________________________
Velocità di posizionamento - [mm/s] 25 10 25
____________________________________________________
Velocità massima - [mm/s] 50 20 50 Velocità - [mm/s] 50 20 50
____________________________________________________
Peso - [kg] 7
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Cataloghi
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Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
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