Piastra di posizionamento lineare KT105
piezoelettrica2 assidi precisione

Piastra di posizionamento lineare - KT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelettrica / 2 assi / di precisione
Piastra di posizionamento lineare - KT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelettrica / 2 assi / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
lineare
Tipo
piezoelettrica
Numero di assi
2 assi
Altre caratteristiche
di precisione, compatta, alluminio, per microscopio, industriale, vuoto-compatibile, per manipolazione di wafer, a rulli incrociati
Corsa

Min.: 1 mm
(0,039 in)

Max.: 50 mm
(1,969 in)

Velocità

Min.: 1 mm/s

Max.: 50 mm/s

Ripetibilità

Min.: 0,3 µm

Max.: 5 µm

Carico

Min.: 0,4 kg
(0,88 lb)

Max.: 4,5 kg
(9,92 lb)

Descrizione

KT105-50 Stadio XY ad alta risoluzione Applicazione: stadio XY a vuoto Vantaggi: veloce e ad alta risoluzione Caratteristiche: parametri per l'imbardata e il beccheggio tre volte migliori rispetto alla variante con apertur - Vuoto: tutte le aree HV / UHV fino a 10-11 mbar - Magnetismo: magnetico | a basso magnetismo | senza magneti - Lubrificazione: liquida fino a 10-8 / a secco fino a 10-11 mbar - Temperatura massima di cottura: 120°C Opzioni: - Con e senza apertura - Disponibile in versione magnetica, a basso magnetismo e senza magnetismo - Diverse varianti di motore: Motore Nanomotion o piezoelettrico - Combinabile con sistema di posizionamento XYZ (ad es. MT105) - Combinabile con stadi rotanti (ad es. DT105) per applicazioni rotanti - Opzionale con il controllore FMC400/450 Dati tecnici - Corsa: 50 mm - Ripetibilità: - ± 0,3 µm, ± 0,5 µm (unidirezionale) ± 0,4 µm, ± 0,7 µm (bidirezionale) - Carico: → 5 N, 4N / ↑ 45 N - Velocità max. Velocità: 10/50 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico / Nanomotion - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi, opzionali in ceramica integrale - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di retroazione: 0.001 µm - 0,1 µm

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