KT105-50
Stadio XY ad alta risoluzione
Applicazione: stadio XY a vuoto
Vantaggi: veloce e ad alta risoluzione
Caratteristiche: parametri per l'imbardata e il beccheggio tre volte migliori rispetto alla variante con apertur
- Vuoto: tutte le aree HV / UHV fino a 10-11 mbar
- Magnetismo: magnetico | a basso magnetismo | senza magneti
- Lubrificazione: liquida fino a 10-8 / a secco fino a 10-11 mbar
- Temperatura massima di cottura: 120°C
Opzioni:
- Con e senza apertura
- Disponibile in versione magnetica, a basso magnetismo e senza magnetismo
- Diverse varianti di motore: Motore Nanomotion o piezoelettrico
- Combinabile con sistema di posizionamento XYZ (ad es. MT105)
- Combinabile con stadi rotanti (ad es. DT105) per applicazioni rotanti
- Opzionale con il controllore FMC400/450
Dati tecnici
- Corsa: 50 mm
- Ripetibilità: -
± 0,3 µm, ± 0,5 µm (unidirezionale)
± 0,4 µm, ± 0,7 µm (bidirezionale)
- Carico: → 5 N, 4N / ↑ 45 N
- Velocità max. Velocità: 10/50 mm/s
- Motore: Motore piezoelettrico / Nanomotion
- Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi, opzionali in ceramica integrale
- Feedback: Scala lineare
- Risoluzione di retroazione: 0.001 µm - 0,1 µm
---