Sistema di posizionamento XYZ 3-Achs-Strahljustage

linearepiezoelettrico

regolazione a 3 archi Sistema UHV XYZ Applicazioni: Applicazioni ad alta risoluzione e scansione veloce Vantaggi: - Posizionamento rapido in UHV, anche in verticale Caratteristiche: Risoluzione eccezionale, molto sottile, con motore interno - Vuoto: tutte le aree HV / UHV fino a 10E-11 mbar - Magnetismo: magnetico | a basso magnetismo | senza magneti - Lubrificazione: liquida fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura massima di bakeout: 120°C Opzioni: - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Combinabile con un sistema di trasferimento XYZ (ad es. LA90, LA95, LA170) - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - In opzione con controllore FMC400/450 - Opzionale con controllore di movimento FMC400/450 Dati tecnici: - Corsa: 5 mm, 10 mm - Ripetibilità: - ± 0,2 µm (unidirezionale) ± 0,3 µm (bidirezionale) - Carico: → 5 N / ↑ 8,8 N - Velocità max. Velocità: 10 mm/s - Motore: Motore piezoelettrico - Cuscinetti: cuscinetti a rulli incrociati in acciaio inox, ibridi, opzionali in ceramica integrale - Feedback: Scala lineare - Risoluzione di retroazione: 0,1 µm, opzionale fino a 0,005 µm