- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar
- liquido di lubrificazione fino a 10E-8 / secco fino a 10E-11 mbar
- Max. Temperatura di cottura: 120°C
Configurabile opzionalmente:
- Disponibile in versione magnetica, a bassa magnetizzazione e senza magnetizzazione
- Con fino a 2 motori diversi per il movimento di carichi elevati
- Diverse varianti di motore: Nanomotion, motore piezoelettrico o motore lineare
- Combinabile con il sistema di posizionamento XYZ
- Combinabile con tavole rotanti (ad es. DT105) per applicazioni rotanti
- Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera
- Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta)
- Opzionale con controllore FMC400/450
Flessibile e universale per condizioni ambientali difficili
L'MT105 è un microstadio di impiego universale che convince soprattutto per la sua elevata dinamica e velocità. È stato progettato per ottenere eccellenti precisioni di marcia e di posizionamento in condizioni estreme, come nel vuoto spinto, nel vuoto ultra spinto e per applicazioni non magnetiche. Come opzione, il microstadio può essere dotato di due motori per posizionare carichi più elevati.
Campi di applicazione
Tecnologia dei semiconduttori in ultra-alto vuoto e sotto radiazioni ultraviolette estreme, allineamento di wafer, allineamento di telecamere, allineamento di sensori, ispezione di contatti, allineamento di specchi, sondaggio, camere a vuoto, ricerca, strumentazione per linee di fascio, assemblaggio e ispezione di componenti elettronici, applicazioni di scansione ad alta precisione, microassemblaggio
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