Tavola di posizionamento verticale HDT255 series

a motoredi precisioneper carico elevato

- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10-11 mbar - Liquido di lubrificazione fino a 10-8 / secco fino a 10-11 mbar - Max. Temperatura di cottura: 120°C - Camera bianca classe 4 ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Disponibile come versione magnetica Configurabile a scelta: - Con o senza apertura - Diverse corse - A scelta con e senza sistema di misurazione - Versioni per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Scelta del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - A scelta con controllore FMC400/450 Stadio di sollevamento preciso per carichi elevati Lo stadio di sollevamento con apertura è adatto per movimenti verticali di alta precisione in condizioni estreme, come ad esempio in alto vuoto, ultra alto vuoto e sotto estrema radiazione ultravioletta. Grazie al suo principio di sollevamento con apertura, raggiunge i suoi parametri nonostante una bassa altezza complessiva di 125 mm. La combinazione di un motore passo-passo e di una precisa vite a sfera, opzionalmente a vite scorrevole, permette di ottenere passi di dimensioni minime con carichi relativamente elevati. Aree di applicazione Campi di applicazione Posizionamento di precisione nell'industria e nella ricerca in ultra alto vuoto e sotto estrema radiazione ultravioletta, allineamento e ispezione di wafer, schede sonda e circuiti stampati, analisi delle superfici, misurazione dello spessore degli strati, allineamento di telecamere, ricerca sui materiali, analisi dei materiali, ispezione, microscopia nel vuoto, linea di luce, acceleratore, sincrotrone