Piastra di posizionamento vuoto-compatibile LA92-40-LM-L

linearea motore1 asse

Asse lineare ad alta velocità HV / UHV / EUV, corsa 40 mm, ripetibilità 0,4 µm, carico fino a 2 kg Vuoto: tutte le aree HV / UHV fino a 10E-11 mbar Liquido di lubrificazione fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar Temperatura max. Temperatura di cottura: 120°C Configurabile opzionalmente: - Sono disponibili versioni magnetiche, a basso magnetismo e senza magnetismo - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Abbinabile a un sistema di trasferimento rapido XYZ (ad es. LA90, LA95, LA170) - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controllore FMC400/450 Rapido posizionamento orizzontale e verticale in UHV L'asse lineare è utilizzato principalmente per la scansione dei campioni. Consente un posizionamento rapido con una risoluzione estremamente elevata nel vuoto ultraelevato, anche in direzione verticale. Ha un design molto stretto con motori interni. Aree di applicazione Applicazioni di scansione rapida e ad alta risoluzione, microassemblaggio, tecnologia dei semiconduttori in ultra-alto vuoto, camere a vuoto, ricerca, strumentazione per linee di luce, assemblaggio e ispezione di componenti elettronici.